半導体工場で使用される半導体製造装置の「設置業務」と「調整業務」を国内外の半導体工場に出張し、チームにて作業を行います。
国内外の長期出張での対応となります。目安としては、1ヶ月~3ヶ月の長期出張を繰り返します。そのため、一年を通して出張日数が宮城に帰る日数を上回る年もあります。
基礎教育として1ヶ月程度、大和工場内で教育を受け、その後に出張し現地OJTを行います。
入社後最初は設置業務に配属されます。設置業務でOJTを卒業後、調整業務に異動し、調整工程のOJTを開始します。
---出張先---
・国内:北海道、岩手県、三重県、広島県、長崎県
・海外:シンガポール、中国、韓国
---作業内容----
【装置設置業務】
①搬入、設置
・工場に搬入された中型トラック程の大きさの装置を、お客様指定の箇所に設置を行います。
・この際、床下の高さや水平に規格があり、L字定規や水平器を用いて微調整を行います。
・また、各種パーツを装置周辺に、ドライバー、六角レンチやスパナを用いて設置します。
②ケーブル接続、パイプ接続
・設置した装置に電気を流すケーブルを精密ドライバーなどを用いて接続します。
・冷却水を流すホース、ガスが流れるパイプをスパナを用いて接続します。
③ケーブルチェック
・②で接続したケーブルが正しい箇所に接続されているかを、図面を見ながら確認します。
【装置調整業務】
①電源投入
・装置に電源、冷却水などの用力を供給します。この際、水ホースから水が漏れていないことや、流れ方向が正しいかを確認します。
②ロボットティーチング
・ウェーハ搬送用のロボットが、正常にウェーハを受け取れるように、操作パネルを用いて調整します。
③真空度の測定
・装置内を真空状態にし、一定時間内に真空状態をキープできるかを、操作パネルの画面を見ながら測定します。
・スペックから外れている場合は、装置内にすき間が空いており、そこから空気が入ってしまっていることが分かり、トラブル対応が求められます。
④トラブル対応
・エラーや空気漏れがあった場合、異常がある場所を特定し、修正します。
生産品目:半導体製造装置(ドライエッチング装置)
ATR3