組み上がった装置の外観検査・確認
装置の配管、ケーブルを図面を見ながら接続
電源を入れての調整や配管等を外す解体業務もあります
2~3人のチームでの作業になります。
半導体工場で使用される半導体製造装置の生産ラインです。
装置の「設置業務」と「調整業務」を行います。
基礎教育として1ヶ月程度、大和工場内で教育を受け、その後に現場リリースを行いOJTが開始します。
---作業内容----
【装置設置業務】
①搬入、設置
・工場に搬入された電話ボックスほどの大きさの装置を、お客様指定の箇所に設置を行います。
・各種パーツを装置周辺に、ドライバー、六角レンチやスパナを用いて設置します。
②ケーブル接続、パイプ接続
・設置した装置に電気を流すケーブルを精密ドライバーなどを用いて接続します。
・冷却水を流すホース、ガスが流れるパイプをスパナを用いて接続します。
③ケーブルチェック
・②で接続したケーブルが正しい箇所に接続されているかを、図面を見ながら確認します。
④電源投入
・装置に電源、冷却水などの用力を供給します。この際、水ホースから水が漏れていないことや、流れ方向が正しいかを確認します。
【装置調整業務】
①真空度の測定
・装置内を真空状態にし、一定時間内に真空状態をキープできるかを、操作パネルの画面を見ながら測定します。
・スペックから外れている場合は、装置内にすき間が空いており、そこから空気が入ってしまっていることが分かり、トラブル対応が求められます。
②各種パラメータの調整
・装置内に搭載されているセンサーやバルブが正常に作動するかの確認を行います。
③トラブル対応
・エラーや空気漏れがあった場合、異常がある場所を特定し、修正します。
生産品目:半導体エッチング装置
ATR3